工作台

X/Y轴行程

250×150

300×200

400×300

500×400

600×500

700×600

600×800

1000×1600

Z轴行程

有效空间245mm，调焦行程200mm，工作距离95mm

金属台尺寸

450×320

450×350

550×450

700×600

800×700

900×800

800×1000

1200×1800

玻璃台尺寸

300×200

330×230

430×330

530×430

630×530

730×630

700×900

1100×1700

传动型式

传动型式：X/Y/Z轴精密线性导轨和研磨级滚珠螺杆

测量伺服驱动系统

光学尺寸分辨率：X/Y/Z轴0.0005mm（0.5um）

测量精度：≤3um+L/200  重复精度：≤3um+L/200

X/Y/Z三轴高性能伺服电机，双重闭环控制系统

影像系统

摄像机：日本SONY索尼 CCD 视频放大倍数：30-230X

镜头：NAV高清变倍镜头//连续放大倍率0.7-4.5X

可选配0.5X物镜时，总放大倍率15-115X

可选配2X物镜时，总放大倍率60-460X

光源系统

表面光源与投射光源冷光源、寿命长、亮度可调

仪器外形尺寸

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

1200*1500*1650

1440*1600*1650

1300*1800*1650

1750*2650*1650

仪器重量（KG）

250

330

500

720

1200

1600

2600

3600